FA装置
MLCシリーズ
液晶パネルの製造工程では、生産性向上より、マザーガラスのサイズ(世代)は大きくなる一方で、ガラス上に生成するパターンや塗布のスケールは、ディスプレイの高精細化、薄型化に伴い、逆に、微小化に進んでいます。
MUSASHIは、セル工程中の「シール塗布」、「液晶滴下」プロセスにおいて、圧倒的シェアを誇る、巨大サイズの超精密ディスペンス装置を提供しています。
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あらゆる液晶滴下パターンに対応
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従来比3倍の300mm/sec高速シール描画を実現
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Agペーストの超微量点塗布を高精密に実現